粗硅转变为纯硅的原理及方程式

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/16 00:52:58
粗硅转变为纯硅的原理及方程式

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粗硅转变为纯硅的原理及方程式

粗硅转变为纯硅的原理及方程式
Si+2Cl2====SiCl4(450度)
SiCl4+2H2====Si(高纯度)+4HCl(高温)